Казалось бы, в микроэлектронных устройствах нет места механике, подвижным деталям, но в конце прошлого столетия началась разработка так называемых микроэлектронно-механических устройств (МЭМС), которые внесли заметный вклад в технический облик нашей цивилизации.
МЭМС – это миниатюрные устройства (обычно не превышающие по площади 1 кв. мм), которые заключают в себе электронный компонент (в частности, собственный процессор) и некую подвижную деталь, изменения пространственного положения которой считываются или управляются электроникой. МЭМС давно уже вошли в нашу повседневную жизнь, хоть не все из нас, возможно, об этом догадываются. Мы привыкли, что смартфон «понимает» перемещения в пространстве, например, меняя ориентацию экрана или работая, как шагомер. Все это возможно благодаря встроенным МЭЛС-гироскопам. На основе МЭЛС созданы разнообразные сенсоры, резонаторы реле, позволяющие расширить функциональность компактных устройств, вроде тех же смартфонов – ведь трудно себе представить настоящий механический гироскоп, встроенный в современный карманный гаджет!